四合一測量技術的革新者
瑞士丹青Sensofar的四合一方法只需點擊一次，系統即可切換到適合當前測量任務的最佳技術。在S neox傳感器頭中配置四種測量技術——共聚焦，干涉，AI多焦面疊加，這些都為系統的多功能性做出了重要貢獻，并有助于最大限度地減少數據采集中的噪點。S neox是所有實驗室的理想之選，適用范圍廣泛。
AI多焦面疊加
主動照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發的光學技術。這項技術基于Sensofar在共聚焦和干涉3D測量領域的廣泛專業知識，專門設計用于補充低放大率下的測量。通過使用主動照明，即使在光學平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數據，這一點已經得到了改進。該技術的亮點包括高斜率表面（高達86°），最快的速度（3mm/s）和較大的垂直范圍測量。
共聚焦
共聚焦輪廓儀的開發目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供最高的橫向分辨率，最高可達0.15μm水平分辨率，空間采樣可減少到0.01μm，這是關鍵尺寸測量的理想選擇。高達NA（0.95）和放大倍率（150X）的物鏡可用于測量局部斜率超過70°的光滑表面。對于粗糙表面，最高可允許86°。獨家的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復性。
干涉
PSI 相移干涉法，可以用于測量亞埃分辨率的高度光滑和連續表面的高度。可以使用極低的放大率（2.5X）測量具有相同高度分辨率的大視場。
CSI 相干掃描干涉法使用白光掃描光滑到中等粗糙表面的表面高度，達到1nm的高度分辨率。
薄膜
薄膜測量技術快速、準確、無損地測量光學透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統獲取可見光范圍內樣品的反射光譜，并與軟件計算的模擬光譜進行比較，對層厚進行修改，直到找到最佳擬合。可以在不到一秒鐘的時間內測量出50nm到1.5μm的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，最小可低至0.5μm，最高可達40μm。
